七七笔趣阁

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第803章 没见过正常，我刚想到的。（第1页）

欧皇妲没回答，而是伸出手指在屏幕上划了几下，放大了一张分子量分布图。

然后又抱着奶茶，小口吸了几口，认真的思考起来。

身后的程新彤，以及一众专家都紧盯着这娇小的背影。

“问题在这儿。”她指着图上一处不太明显的肩峰，说道：“你们的聚合物合成工艺里，链转移控制不够精准，导致高分子量组分占比偏高。

这部分虽然对分辨率有帮助，但在曝光后会产生严重的链缠结效应，直接拉高了LWR。”

程新彤猛地站起身，快步走到屏幕前死死盯着那张图。身后的几个研究员也凑了过来，神色各异。

“可是……”之前那个戴眼镜的研究员迟疑道，“我们做过GPC测试，分散度已经控制在1.2以下了，这在国内算顶尖水平了。”

“1.2对28nm够用，对13nm远远不够。”欧皇妲语气平淡，虽然她没做过这个实验，但是冥冥之中她脑子里有个数字在跳出来似的。

略微停顿后，她说道：“你可以试试把分散度压到1……1.05以下，同时要把高分子量尾端完全切掉。

另外，你们的产酸剂和淬灭剂的比例也有问题——在这么短的曝光波长下，酸扩散长度必须控制在5nm以内。你们现在的配方，酸扩散长度至少在9到10nm。”

程新彤深吸一口气：“这个我们也意识到了，但是调整比例之后敏感度就会大幅下降……”

“那是因为你们用的淬灭剂扩散系数太高了。”欧皇妲打断了她，伸手从白板上拿起一支笔，刷刷刷写下一串分子式，“试试这个，刚合成的含氟负离子配对的三级胺盐。

它的扩散系数比你们现在用的低两个数量级，而且热稳定性更好。产酸剂那边，把阴离子换成这个结构——”

她又写了一串更长的分子式。

会议室里鸦雀无声。所有研究员都在盯着白板上那些陌生的化学结构。

程新彤第一个反应过来，声音有些发颤：“小师妹，这个产酸剂的结构……我没见过。”

“嗯……我刚想到的。”欧皇妲眨了眨眼，略微尴尬的挠着头，“如果能够实现，那光吸收截面比现有的提高约40%，而且分解产酸的量子产率能达到0.85。你们可以做个模拟验证一下。”

“刚……刚想到的？”那个眼镜研究员差点被自己口水呛到。